SEM分析|SEM-EDS分析
扫描电子显微镜(SEM分析)可以放大高达500,000x的样品。与ED一起使用,它可以确定构成样品区域的元素。
扫描电子显微镜(SEM分析)可以放大高达500,000x的样品。与ED一起使用,它可以确定构成样品区域的元素。
SEM分析如何工作?
扫描电子显微镜(SEM)使用高能量的电子束放大了特定的样品区域。样品在真空下方,以确保电子束保持聚焦,并且不会与空气中的颗粒相互作用。当电子束击中样品时,它会导致辅助电子从样品中释放出来,这些电子被检测到以基于表面地形的图像提供图像。最常用的两个检测器包括二级电子检测器(SED)和反向散射电子(BSE)检测器。电子与检测器相互作用以创建图像。
这个强大的电子显微镜能够放大多达500,000次!SEM分析比光学显微镜更强大,这不仅是因为放大功率增加了,而且还因为景深的增加。
EDS分析如何工作?
还可以分析使用SEM分析评估的样品区域,以确定通过利用能量分散光谱法(EDS)来确定构成样品区域的特定元素。X射线还从样品表面释放,该表面具有独特的能量特征,该标志特定于样品中的元素。这些X射线使用EDS检测器检测到,以提供有关样品的元素信息。EDS提供了有关样品化学成分的数据,并提供了有关SEM显微照片中观察到的特征的其他数据。该组合技术称为SEM-EDS或SEM-EDX分析。
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SEM-EDS分析是确定粒度和元素组成的绝佳方法。它也是用于执行纳米饰面的首选分析技术。
可以将SEM分析作为膜层分析的一部分进行,以确定膜的厚度。不仅如此,与ED结合使用,还可以比较每一层之间的不同化学成分。胶片的地形有时可以掩盖样品中胶片层的数量;元素映射可以显示其他方法看不到的图层。
污染分析,识别填充含量,失败分析,法医工程,分数也是其他常见情况,在这种情况下,SEM分析用EDS进行了非常有价值。
为了执行这种类型的分析,样品需要是固体材料,不能在液体或气体上执行。非导电样品用金溅射,以防止电子充电。
为了进行分析,样品必须适合仪器的样品室,该样品可以容纳最长的最长尺寸(约10厘米)的样品,厚度约为1英寸(2.5厘米)。
同样,样品的挥发性含量存在局限性,因为过度的瓦解可能会损害仪器性能。
作为污染分析项目的一部分,通过SEM-EDS分析捕获上述元素图。该图像描绘了带有硅污染物的铜网。红色,蓝色和黄色分别表示碳,硅和铜的存在。
我们在SEM/EDS分析方面的经验包括:
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